贴膜贴出新高度 自研设备制造真空环境做芯片领域的“贴膜大师”

来源:leyu官方网站    发布时间:2024-08-02 05:44:24

  日常生活中,不少人会通过贴膜来保护手机,这是一项技术活,稍有不慎就会在屏幕上产生难看的气泡。其实,芯片生产也有贴膜的环节,给晶圆贴光刻膜,难度更大。广东东莞一家专精特新企业通过自主研发晶圆真空贴膜设备,成了芯片制造领域的“贴膜大师”。

  总台央视记者 满禹廷:技术人员表示,他们的设备大多数都用在给晶圆贴光刻膜,而光刻膜对自然光很敏感,所以要在黄光下进行作业。

  在芯片的生产的全部过程中,有一项工艺是将光刻膜贴在晶圆上,然后通过激光照射让光刻膜产生物理及化学特性的变化,进而在表面上得到所需的图像,再通过后续工艺形成芯片电路。如果光刻膜和晶圆之间出现褶皱或者气泡,整张光刻膜就会报废。

  广东思沃先进装备有限公司副总经理 肖基堂:真空腔体是这台设备的核心部件,它可以在30秒内使线帕以内,把腔体内的空气赶出来,避免气泡的产生。

  除了能创造接近真空的贴膜环境,对贴膜的对位精度以及压力的精准控制也是这台设备的核心技术。

  广东思沃先进装备有限公司副总经理 肖基堂:我们采用高清图像识别技术实现1微米至2微米的线路制作。晶圆越做越薄,相对来说还是比较脆弱,在生产的全部过程中我们要注意压力的精准控制以防止裂片的产生。

  据了解,目前该设备的产速为每小时60片到75片左右,相比行业中等水准有约15%的效率提升。

  本期专精特新·绝活:贴膜贴出新高度,自研设备制造真空环境,让气泡和褶皱不再成为晶圆贴膜的行业痛点,做芯片制造领域的“贴膜大师”。

  日常生活中,不少人会通过贴膜来保护手机,这是一项技术活,稍有不慎就会在屏幕上产生难看的气泡。技术人员表示,他们的设备大多数都用在给晶圆贴光刻膜,而光刻膜对自然光很敏感,所以要在黄光下进行作业。